蝕刻機/曝光機元件
應用:
蝕刻機上電極需有耐腐蝕與耐電漿衝擊的特性，故常使用矽/石英/陶瓷材料。
蝕刻機上電極板(QUARTZ SHOWER HWAD) OD0.5mm*8t*8inch
蝕刻機上電極板(Si shower head) 0.45*10.5t*8inch
靜電吸盤(E-CHUCK) 陶瓷/碳化矽SIC板
靜電吸盤中的上陶瓷板需有超高精度的平面度與拋光值
製程能力
| 矽/石英shower head | E-CHUCK 陶瓷/碳化矽板 | |
| 厚度(mm) | 0.1~20 | 0.1~20 |
| 孔徑(mm) | Min 0.15mm | Min 0.15mm |
| 尺寸(mm) | 1~500 | 1~500 |
| TTV(um) | <1 | <1 |
| 表面粗度(Ra) | Min 0.01um | Min 0.01um |